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更新時間：2023-05-04 
瀏覽次數：856工藝氣體中含有的CO、CO2、HF、NH3、HCI、H2 O等分子具有吸收近紅外激光的特性，分子的濃度可以從它們的吸收強度確定。 由于該吸收帶（波長）因分子類型而異，因此可以通過選擇要測量的分子的吸收波長來測量氣體濃度而不會受到其他分子的干擾。 內置在中央單元中的二極管激光器產生的近紅外波長激光通過稱為混合電纜的光纜從發光傳感器照射到工藝氣體中，并由光電探測器的光電晶體管的光電晶體管檢測為電信號。 檢測到的電信號被轉換回光信號，并通過環路和混合電纜返回到中央單元。 通過將照射的激光強度與接收到的激光強度進行比較，可以測量要測量的氣體成分的濃度。 中央單元包含一個封裝有待測組件的參考單元，該參考單元不斷進行自我校準。
二極管激光器的發射強度也受到監控，二極管激光器的異常和零點校準也受到持續監控。
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