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更新時間：2023-09-14 
瀏覽次數：470微極分析儀
MICROPOLE系統的特點是MICROPOLE分析儀（MPA），它使用超精密光學蝕刻技術和玻璃/金屬粘合技術將九個四極桿組組合在一起。該MPA的開發產生了很小小小小的殘余氣體分析儀，其性能相當于或優于大型質譜儀。該分析儀為插入式單元型，只需安裝已預先校準分壓的傳感器單元即可測量總壓和分壓的絕對值。
測量原理
RGA 由離子源、質譜儀和測量部分組成。殘余氣體通過與高溫燈絲發射的熱電子碰撞而電離，產生的離子被加速、聚焦并引導至質譜儀。在質譜儀中，通過向四個圓柱形電極（四極）施加直流和交流電壓來篩選離子質量。分離出的離子在法拉第杯中被檢測為電流，該離子電流與殘留氣體量（分壓）成正比。
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