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更新時(shí)間：2023-12-21 
瀏覽次數(shù)：385住友的臭氧發(fā)生器采用板放電方式，利用電能將部分原料氣體轉(zhuǎn)化為臭氧。
采用高純度陶瓷放電表面來(lái)產(chǎn)生清潔的臭氧氣體，最大限度地減少顆粒和金屬污染的產(chǎn)生。作為排放方式，我們實(shí)現(xiàn)了業(yè)界領(lǐng)的先的臭氧濃度400g/m 3 (N)。
此外，我們還使用我們獨(dú)的特的技術(shù)來(lái)處理無(wú)氮臭氧發(fā)生器，以防止金屬污染。
被眾多客戶在半導(dǎo)體、液晶等制造過程中的干法和濕法工藝中使用，并獲得了好評(píng)。
半導(dǎo)體
各種晶圓
FPD（LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED）
光罩
引的領(lǐng)
其他電子器件材料的干法和濕法工藝
這是一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)系列，最大濃度為400g/m 3 (N)。
| 規(guī)格 | |
|---|---|
| 臭氧流量 | 1L/min～24L/min [210g/m 3 (N)] |
| 臭氧供給壓力 | 最大0.2MPa |
| 冷卻水溫度 | 20℃±2℃ |
| 氮添加率 | 氧氣流量的0.1% |
| 外形尺寸 | 寬483毫米×深453毫米×高266毫米 |
| 重量 | 30～45公斤 |
| 電源 | AC200V 3相 |
| 特征 |
|---|
| 產(chǎn)生400g/m 3 (N)的高濃度臭氧 |
| 可安裝在19英寸機(jī)架上的單元類型 |
| 從小流量到大流量的豐富產(chǎn)品陣容 |
| 高可靠性放電電池，耐壓高，壽命長(zhǎng) |
| 快速上升和出色的濃度響應(yīng) |
| 通過連接臭氧濃度計(jì)（反饋控制）實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的濃度穩(wěn)定性 |
| CE/NRTL認(rèn)證，符合SEMI標(biāo)準(zhǔn) |
| 燃?xì)夤艿揽蛇x用氟樹脂和SUS鋼。 |
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