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技術文章/ article
藥液中0.02μm粒子的液中微粒傳感器“KS-20F"。
迄今為止，我們也向市場投入了測量藥液中0.03μm粒子的液中粒子傳感器。 但是，在最的先的進的半導
體制造工序中，進一步推進了微小工藝技術，在半導體工廠和材料、藥液制造商的質量管理中，對于微小
粒子的測量的需求越來越大。 隨著汽車電動化、電氣產品智能化( IoT化)、ICT、AI、高速通信規格( 5G )
的普及，半導體市場持續活躍。 因此，通過開發和投入可測量藥液中0.02μm粒子的液中粒子傳感器，在
滿足這些市場需求的同時，以大型半導體制造商為首，謀求擴大相關材料、藥液制造商的訂單。
測量系統各產品名稱:(左下)液中微粒傳感器KS-20F、(左上)控制器KE-40B1、(右)注射器采樣器KZ-31W
1 )支持氫氟酸溶液，實現最的小的可測粒徑0.02μm
2 )可以任意地將粒徑區分設定在0.02~0.08μm范圍內
3 )豐富的選項支持批量測量和在線測量
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更新時間：2024-01-24 
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