MaxMile LED 外延片 EL/PL 聯合測試系統
4-inch Desktop 8-inch Desktop Robot I System Robot II System
1、外延尺寸(最大12” ): 2"-4" 2"-8" 2"-8" 2"-8"
2、工作臺尺寸(W×D×H):18"×18"×14" 18"×18"×14" 32"×32"×68" 57"×32"×68"
3、外延裝載功能： manual manual manual/robot robot
4、裝載盒數量： n/a n/a 1 up to 3
5、裝載盒檢測： n/a n/a yes yes
6、外延尺寸檢測： n/a n/a yes yes
7、裝載盒外延映射： n/a n/a yes yes
8、預對準： n/a n/a yes yes
9、外延片快速映射功能測試：
標準：EL(電致發光),PL(光致發光),EL / PL相結合,IV,反向特性,翹曲。
可選：膜厚測試 ，GaN on Si特征，測試溫度控制。*
10、光譜檢測范圍：從紫外到近紅外(默認為200nm—800nm)
11、光譜分辨率：0.5-2 nm，取決于光譜范圍選擇和系統配置
12、測試項目：
1、電致發光Mapping：
波長--WLP/WLD/WLC (峰值/主/中心)波長，半高寬度。
強度—輻射/發光功率，轉換效率。
電流—正向電流/電壓，導通電壓，反向漏電流/電壓，閾值電壓，導通電阻，頂部電阻
正向漏電流，串接電阻，理想因子，等。
2、光致發光：
波長—WLP/WLD/WLC (峰值/主/中心)波長，半高寬度。
強度—輻射/發光功率，轉換效率。
3、IV特性Mapping：
正向電流/電壓，反向漏電流/電壓，閾值電壓，導通電阻，等。
4、其他特性Mapping：
翹曲度
薄膜厚度*
5、測試曲線類型：
特定驅動電流/電壓的電致發光光譜
光致發光譜
LIV—電流/發光強度— 電壓
輸出強度— 驅動電流
波長&半高寬— 驅動電流
反向IV
6、CVD外延布局Mapping:
對于上述所有測試項目，無論mapping還是快速測試均可做布局圖
注意：軟件可以客制化，可為客戶特的殊的器件參數做mapping圖
13、激發源：EL: Keithley 數字電源;PL:405nm標配，請聯系MaxMile配置其他激發源。
14、EpiEL探針類型：Type I, Type IA, Type II, Type IIA, Type IIB, Type IIC, and GaN-on-Si
15、電流測試：>10 -12A
16、控制單元與操作系統:EpiEL內部電腦使用64位微軟Windows7/8操作系統
17、采樣點/采樣步驟：
1、電致發光采樣點和每個點的光/電測量步驟都可由最終用戶設置。
2、光致發光采樣點可以由最終用戶(高分辨率應用于高要求的應用，快速掃描可用于批量生產的質量控制。
3、用戶可自定測試點的布局。
18、測試時間：每片外延片測試約0.5-12分鐘，這取決于測試類型、采樣點、檢測協議和測量步距設置的不同之處; 光致發光選項掃描速度是每秒最多達50點。
19、報告生成與數據展示：HTML (Brief/Abbreviated/Full) /XML/CSV/TXT
20、Mapping顏色編碼:彩虹色，漸變色，二元色，溫度，灰色，或任何由最終用戶指的定的顏色類型。
21、電源：15A/110VAC 或是10A/220VAC(最大電壓);機器人系統需要真空。
22、環境條件:溫度： 15℃ - 30℃ ，相對濕度：30% -70%無凝結。
Epi-EL/PL聯合測試系統
更新時間：2025-02-11 
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