服務熱線：15766191432產品到哪里，服務到哪里 !
products category
Related articles
2025-06-25 博韋爾為微電子行業制造廣泛的高純度多孔介質以及高效可靠的過濾產品
2024-02-23 opsytec可靠且經濟實惠的微處理器控制“冷”光源HP-120i UV 點光源
2023-09-23 日本進口kett FD-720赤外線水分計 近紅外水分計 電壓100V的介紹
2024-07-26 美國optometrics的驗光迷你Chrom單色儀附件狹縫組
2024-02-01 產品中心/ products
ulvac-kiko小型 蒸發設備 壓力測量口 真空計VPC-1100將架臺上的油擴散泵，油回轉泵，皮拉尼真空計，閥門配管，電氣系統，壓力測量口等必要的部件緊湊組合為一體的，配有鐘罩升降設備的電阻加熱型高速真空蒸發設備。適用于大型基板的基礎研究開發等實驗用途。
產品型號：VPC-1100廠商性質：經銷商更新時間：2023-04-11訪 問 量：611
立即咨詢
聯系電話：
| 品牌 | 其他品牌 | 材質 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 驅動方式 | 其他 |
ulvac-kiko小型 蒸發設備 壓力測量口 真空計VPC-1100
ulvac-kiko小型 蒸發設備 壓力測量口 真空計VPC-1100
將架臺上的油擴散泵，油回轉泵，皮拉尼真空計，閥門配管，電氣系統，壓力測量口等必要的部件緊湊組合為一體的，配有鐘罩升降設備的電阻加熱型高速真空蒸發設備。
適用于大型基板的基礎研究開發等實驗用途。
玻璃鐘罩更容易看到內部，有良好的操作性。
可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。
通過追加蒸發電源和電極，可同時蒸發或多層蒸發。
更改為EB規格，可成膜高熔點的材料。
蒸發設備帶有腳輪，移動更為容易。
帶有調節器，可確保設置的安全性。
| 型式 | VPC-1100 | |
| 真空性能 | 極限壓力 | 4.0×10-４Pa 1.3×10-４Pa（液體氮氣使用時） |
| 排氣時間 | 4.0×10-３Pa/10min 10-４Pa臺/10min（液體氮氣使用時） | |
| 真空槽 | 真空槽 | 玻璃鐘罩（內徑Φ390mm×高350mm) |
| 饋通圈 | 20端口(側面14/底面6) | |
| 基板推薦尺寸?最大尺寸 | □50mm ? □220mm（Max） | |
| 電源系統 | 蒸發電極構成 | 3點式 |
| 蒸發電源?數量 | SEREM PSE-150C?1 式 0～10V 150A（Max) | |
| 排氣系統 | 主泵 | 油擴散泵（水冷） 1100L/sec |
| 液體氮氣捕集器 | 有 | |
| 補助泵 | 油回轉泵 200L/min、2臺 | |
| 油霧捕集器 | 選項 | |
| 操作系統 | 主閥 | 蝶閥 |
| 補助閥 | 三通閥 | |
| 自動泄露閥 | 選項 | |
| 操作 | 手動 | |
| 控制系統 | 皮拉尼真空計 | GP-1G |
| 電離真空計 | 選項 | |
| 設置 | 最大尺寸 本體 | 1235mm（W）×836mm（D）×2155mm（H） |
| 電源 | 設備本體收納 | |
您的位置：
在線咨詢
返回頂部