ulvac-kiko 真空泵低溫泵排氣單元離子濺射儀

ulvac-kiko 真空泵低溫泵排氣單元離子濺射儀VTS-350M/X
管架上緊密安裝了主泵、輔助泵、電力系統(tǒng)、壓力測(cè)量口等必要機(jī)器的小型高真空排氣裝置。
DEPOX系列有不同排氣系統(tǒng)構(gòu)造的4個(gè)類型。
使用簡(jiǎn)單、適合用于實(shí)驗(yàn)。
特點(diǎn)

產(chǎn)品型號(hào)：VTS-350M/X
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時(shí)間：2023-04-11
訪問(wèn) 量：949

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ulvac-kiko 真空泵低溫泵排氣單元離子濺射儀VTS-350M/X

管架上緊密安裝了主泵、輔助泵、電力系統(tǒng)、壓力測(cè)量口等必要機(jī)器的小型高真空排氣裝置。
DEPOX系列有不同排氣系統(tǒng)構(gòu)造的4個(gè)類型。
使用簡(jiǎn)單、適合用于實(shí)驗(yàn)。

特點(diǎn)

可以在不停止主泵的情況下打開真空室。
使用三通閥，組件更少，維修更容易。
真空計(jì)等配件可以安裝在同一個(gè)架臺(tái)上。
空冷型，不需要冷卻水。
帶有輪子，易于移動(dòng)。
配有調(diào)節(jié)器，可以確保安裝的安全性。

規(guī)格

型號(hào)	VPC-053
極限壓力	7.0×10^-４Pa 1.5×10^-４Pa（使用液氮時(shí)）
主泵	油擴(kuò)散泵（空冷）　50 L/sec
輔助泵	油回轉(zhuǎn)真空泵　20 L/min
メイン閥門	25A蝶閥
輔助閥門	三通閥
吸氣口	VG-25
重量	20kg
最大尺寸　（W×D×H）	350mm(W)×320mm(D)×461mm(H)

特點(diǎn)

可以在不停止主泵的情況下打開真空室。
使用三通閥，組件更少，維修更容易。
真空計(jì)等配件可以安裝在同一個(gè)架臺(tái)上。
空冷型，不需要冷卻水。
帶有輪子，易于移動(dòng)。
配有調(diào)節(jié)器，可以確保安裝的安全性。

規(guī)格

型號(hào)	VPC-053
極限壓力	7.0×10^-４Pa 1.5×10^-４Pa（使用液氮時(shí)）
主泵	油擴(kuò)散泵（空冷）　50 L/sec
輔助泵	油回轉(zhuǎn)真空泵　20 L/min
メイン閥門	25A蝶閥
輔助閥門	三通閥
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