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產品型號：WS-650-8B廠商性質：經銷商更新時間：2024-09-02訪 問 量：416
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美國Laurell ?200mm旋涂機 WS-650-8B
Laurell WS- 650-8 B 旋涂機 結構緊湊，功能。 這款 650 系列涂布機系統可容納直徑達? 200 毫米的晶圓和 7 英寸 × 7 英寸 (178 毫米 × 178 毫米) 的基板，最大轉速為12,000 RPM（基于直徑? 100 毫米的硅晶圓）。
Laurell 獨的特的內部碗狀設計消除了濺回現象，因此無需安裝“濺水環"。我們的排氣排水適配器配有可拆卸儲水箱，既實用又方便。
封閉式碗狀設計，加上過程控制器的精確性，可使大多數涂層材料在靜止狀態下干燥，從而提高均勻性并最的大程度地減少顆粒污染。上部集氣室在底座內部關閉，以提供重疊密封，蓋子內部有一個特殊的排水溝，用于將流體引導到系統后部，以防止化學品意外滴落到基材上。
美國Laurell ?200mm旋涂機 WS-650-8B
Laurell WS- 650-8 B 旋涂機 結構緊湊，功能。 這款 650 系列涂布機系統可容納直徑達? 200 毫米的晶圓和 7 英寸 × 7 英寸 (178 毫米 × 178 毫米) 的基板，最大轉速為12,000 RPM（基于直徑? 100 毫米的硅晶圓）。
Laurell 獨的特的內部碗狀設計消除了濺回現象，因此無需安裝“濺水環"。我們的排氣排水適配器配有可拆卸儲水箱，既實用又方便。
封閉式碗狀設計，加上過程控制器的精確性，可使大多數涂層材料在靜止狀態下干燥，從而提高均勻性并最的大程度地減少顆粒污染。上部集氣室在底座內部關閉，以提供重疊密封，蓋子內部有一個特殊的排水溝，用于將流體引導到系統后部，以防止化學品意外滴落到基材上。
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