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日本kohzu 真空兼容 X 定位平臺

日本kohzu 真空兼容 X 定位平臺 MVXA05A-R102
1.真空兼容自動X平臺,采用精密交叉滾柱導軌。
2.進給方式采用高分辨率磨削螺桿。
3.采用真空對應5相步進電機。

  • 產品型號:MVXA05A-R102
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-10-10
  • 訪  問  量:286
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日本kohzu 真空兼容 X 定位平臺 MVXA05A-R102

注釋/特點

1.真空兼容自動X平臺,采用精密交叉滾柱導軌。

2.進給方式采用高分辨率磨削螺桿。

3.采用真空對應5相步進電機。

機械規格

模型  MVXA05A-R102

桌面  50毫米×50毫米

指導方法  精密交叉滾子導軌

移動范圍  ±7.5毫米

飼養方法  接地螺絲,導程0.5mm

分辨率全/半  1μm/0.5μm

分辨率 微步(1/20 格)  0.05μm

最大速度  2.5毫米/秒:半5kpps

累計導程誤差  ≤6μm/15mm

重復定位精度  ≤±0.5μm

失去運動  ≤1μm

水平真直度  ≤1μm/15mm

垂直真直度  ≤1μm/15mm

反彈  ≤1μm

力矩剛度  0.31 弧秒/N?cm

水平承載能力  49N(5公斤力)

材質  鋁合金

自重  0.66公斤

日本kohzu 真空兼容 X 定位平臺 MVXA05A-R102

注釋/特點

1.真空兼容自動X平臺,采用精密交叉滾柱導軌。

2.進給方式采用高分辨率磨削螺桿。

3.采用真空對應5相步進電機。

機械規格

模型  MVXA05A-R102

桌面  50毫米×50毫米

指導方法  精密交叉滾子導軌

移動范圍  ±7.5毫米

飼養方法  接地螺絲,導程0.5mm

分辨率全/半  1μm/0.5μm

分辨率 微步(1/20 格)  0.05μm

最大速度  2.5毫米/秒:半5kpps

累計導程誤差  ≤6μm/15mm

重復定位精度  ≤±0.5μm

失去運動  ≤1μm

水平真直度  ≤1μm/15mm

垂直真直度  ≤1μm/15mm

反彈  ≤1μm

力矩剛度  0.31 弧秒/N?cm

水平承載能力  49N(5公斤力)

材質  鋁合金

自重  0.66公斤



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