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更新時(shí)間：2023-03-23 
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■高精度控制 重復(fù)性 可實(shí)現(xiàn)±0.5% F.S.的高精度氣動(dòng)控制
。
■優(yōu)異的壓力特性與初級(jí)壓力波動(dòng)相比，
輸出壓力波動(dòng)在1kPa以內(nèi)。
■ 可實(shí)現(xiàn)精確的壓力設(shè)置，這是直動(dòng)式無(wú)排放型直動(dòng)式
。 此外，由于它是無(wú)排放類型，因此壓力可以從零開始調(diào)節(jié)。
■適用于需要低壓控制的應(yīng)用。
■ 非浮雕型可用于氮?dú)夂投趸嫉葻o(wú)法向大氣中打開的應(yīng)用。
如需低分子量氣體或腐蝕性氣體，請(qǐng)聯(lián)系我們。
半導(dǎo)體制造工藝
由于半導(dǎo)體非常精密，因此有許多制造過(guò)程。該過(guò)程大致分為兩個(gè)，稱為“前處理"和“后處理"。如果把前道工序想象成半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，把后道工序想象成最終的半導(dǎo)體產(chǎn)品，可能會(huì)更容易理解。
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